对于真空烧结炉的温度调节点,很多人更关注实际峰值温度。烧结炉的一个好的温度范围,过高会被认为是过烧,过低会被认为是欠烧。两种情况都不是好的烧结结果。良好的温度控制是找到烧结温度范围的关键点。如何判断是欠烧还是过烧?根据烧结炉电气性能参数的要求,可以用它来判断。
欠烧时,穿透氮化硅的银浆残留,所以进入N型层的银浆也较少,欧姆接触效果不好,会造成串联电阻较大。过烧时,银的消耗会比平时多,形成银硅混合层。这个混合层会起到阻挡作用,也会串联形成过大的阻力。所以不能仅凭电阻推断是欠烧还是过烧。当无法判断烧结状态时,可以调整8区的温度,找到大致的调整点,然后慢慢进行微调。真空烧结炉厂家提醒微调的时候,可以通过背场的状态来判断。如果后场稍微凸起,那是因为过烧,要微调降低温度。
开始烧结前,需要确认各加热管是否能正常工作。检查各温区灯的输出功率是否高于其他温区灯的平均值,以确保平均烧结。